隨著現(xiàn)代通訊技術(shù)的不斷發(fā)展,電子元件向簡單化、小型化、高集成度不斷轉(zhuǎn)變,對電路封裝工藝的要求也隨之提升,對氧化鋁陶瓷封裝基板的需求也越來越大。氧化鋁陶瓷在強度、耐熱、耐沖擊及電絕緣和耐腐蝕等方面具有良好的性能,且原材料充足,價格實惠,制造及加工體系完善,在工業(yè)封裝中具有重要作用。
一、氧化鋁陶瓷基板的晶體結(jié)構(gòu)、分類及性能
氧化鋁有許多同質(zhì)異晶體,例如α-Al2o3、β-Al2o3、γ-Al2o3等,其中以α-Al2o3的穩(wěn)定性較高,其晶體結(jié)構(gòu)緊密、物理性能與化學性能穩(wěn)定,具有密度與機械強度較高的優(yōu)勢,在工業(yè)中的應(yīng)用也較多。
氧化鋁陶瓷通過氧化鋁純度進行分類,氧化鋁純度為>99%被稱為剛玉瓷,氧化鋁純度為99%、95%和90%左右被稱為99瓷、95瓷和90瓷,含量> 85%的氧化鋁陶瓷一般稱為高鋁瓷。99.5%氧化鋁陶瓷的體積密度為3.95g/cm3,抗彎強度為395MPa,線性膨脹系數(shù)為8.1×10-6,熱導(dǎo)率為32W/(m·K),絕緣強度為18KV/mm。
二、黑色氧化鋁陶瓷基板制造工藝
黑色氧化鋁陶瓷基板多用于半導(dǎo)體集成電路及電子產(chǎn)品中,這主要是由于大部分電子產(chǎn)品具有高光敏性,需要封裝材料具有較強的遮光性,才能夠保障數(shù)碼顯示的清晰度,因此,多采用黑色氧化鋁陶瓷基板進行封裝。隨著現(xiàn)代電子元件不斷更新,對于黑色氧化鋁封裝基板的需求也不斷擴大,目前國內(nèi)外均積極開展對黑色氧化鋁陶瓷制造工藝的研究。
電子產(chǎn)品封裝中使用的黑色氧化鋁陶瓷,基于其應(yīng)用領(lǐng)域的需求,黑色著色料的選擇需要結(jié)合陶瓷原材料的性能。例如需要考慮到其陶瓷原材料需要具備較好的電絕緣性,因此,黑色著色料除了考慮到陶瓷基板的最終著色度、機械強度外,同時還要考慮到其電絕緣性、隔熱性及電子封裝材料的其他功能。
在陶瓷著色過程中,低溫環(huán)境可能促使著色料的揮發(fā)性受到影響而保溫一定時間,在此過程中,游離狀態(tài)著色物可能集結(jié)成尖晶石類化合物,能夠避免著色料在高溫環(huán)境下持續(xù)揮發(fā),保障著色效果。
三、流延法制造黑色氧化鋁陶瓷基板工藝
流延法是指在陶瓷粉料中加入溶劑、分散劑、粘結(jié)劑、增塑劑等物質(zhì),從而使?jié){料分布均勻,然后在流延機上制成不同規(guī)格陶瓷片的制造工藝,也被稱為刮刀成型法。該工藝最早出現(xiàn)于上世紀40年代后期,被用于生產(chǎn)陶瓷片層電容器,該工藝的優(yōu)點在于:
(1)設(shè)備操作簡單,生產(chǎn)高效,能夠進行連續(xù)操作且自動化水平較高;
(2)胚體密度及膜片彈性較大;
(3)工藝成熟;
(4)生產(chǎn)規(guī)格可控且范圍較廣。
現(xiàn)代生產(chǎn)中使用的陶瓷基片多為多層基片,氧化鋁陶瓷的純度為90.0~99.5%,其純度越高,性能越好,但關(guān)鍵問題在于該部件對燒結(jié)溫度的要求較高,導(dǎo)致制造的難度提高。